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PRODUCTS

AS200B气体质量流量控制器
技术参数
流量规格(N2)

(100,200) SCCM

(0~3,5,10,20,30,50,100,200) SLM
准确度

±1.0%S.P.(≥35%F.S.)

±0.35%F.S.(<35%F.S.)

线性 ±0.5%F.S.
重复精度 ±0.2%F.S.
响应时间 1sec
最大工作压力 0.45MPa
工作环境温度 5~45℃
电源
+15~ +24 VDC (单极)
重量 约0.95Kg
正在更新中

一、产品简介

AS200B系列气体质量流量控制器,采用铝制底座,适用于多种常规气体,提高了气体质量流量控制测量结果的准确度及可靠性。重复精度高达±0.2%F.S.;1×10 -10 Pa·m3 /sec He的低泄露率,气密性好,保障生产安全;可支持多种信号输出,包括数字信号、1~5V 模拟信号以及4~20mA模拟信号,可以使用单电源(+15~+24 VDC),适用于不同的工作场景;标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利;同时,产品还提供功能强大的免费客户端上位机软件,方便用户调试操作。 AS200B系列产品是威尼斯欢乐娱人城精品采用先进的MEMS技术研发,在传感器的驱动,零点漂移的控制和阀控等诸多方面都采用了独特的技术,保证了产品的高性能、高品质和高可靠性,是一款稳定性好、精度高、泄漏率低、耐压高的优质仪器。


二、产品亮点

● 可同时支持数字信号,1~5V 或4~20mA模拟信号

● 使用单电源(+15~+24 VDC)

● 支持自动故障报警,多气体多量程等功能


三、应用场景

AS200B系列气体质量流量控制器(MFC),主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:集成电路工艺设备,如外延、扩散、等离子刻蚀、溅射、离子注入和各种CVD等设备;其他行业设备,如光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器等。

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